[发明专利]一种磨片机

说明书

本发明涉及硅片生产设备领域，公开了一种磨片机，包括机架，所述机架上固定连接有下磨盘，所述机架上固定连接有打磨电机，所述打磨电机的输出轴上固定连接有转动盘，所述转动盘上升降设置有上磨盘，所述下磨盘上放置有安装片，所述安装片上开设有供硅片放置的放置孔，所述机架上设置有驱动所述安装片移动的驱动组件，所述上磨盘上开设有进料孔道，所述下磨盘与所述上磨盘之间设置有辅助喷砂组件。本发明具有提高打磨效率的效果。

技术领域

本发明涉及硅片生产设备的技术领域，尤其是涉及一种磨片机。

背景技术

目前在硅片的生产过程中,需要通过磨片机对硅片表面进行打磨,清除切片过程及激光标识时产生的不同损伤。

现有的磨片机将研磨砂通过磨盘上的通孔散布在硅片的表面，通过磨盘压迫硅片表面的研磨砂，从而对硅片的上、下两侧进行打磨。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：由于磨盘上的通孔不能够开设的较为密集，从而使得研磨砂难以较为均匀的分布在硅片的表面，磨片机需要运行一段时间后才能够使研磨砂实现均匀的分布，从而使得对硅片的打磨时间延长，降低了打磨效率。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明在于提供一种磨片机，具有提高打磨效率的效果。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种磨片机，包括机架，所述机架上固定连接有下磨盘，所述机架上固定连接有打磨电机，所述打磨电机的输出轴上固定连接有转动盘，所述转动盘上升降设置有上磨盘，所述下磨盘上放置有安装片，所述安装片上开设有供硅片放置的放置孔，所述机架上设置有驱动所述安装片移动的驱动组件，所述上磨盘上开设有进料孔道，所述下磨盘与所述上磨盘之间设置有辅助喷砂组件。

通过采用上述技术方案，工人将硅片放置在放置孔内，然后上磨盘下降与硅片抵触，驱动组件带动安装片移动，打磨电机得挨冻转动盘转动，转动盘转动后带动上磨盘转动，从而对硅片的上、下两侧进行打磨，工人通过上磨盘上的进料孔道是研磨砂进入到上磨盘和下磨盘之间，从而提升打磨效果，辅助喷砂组件对研磨砂进行补充，使得研磨砂能够较为快速的均匀分布在上磨盘和下磨盘之间，从而使打磨的时间缩短，提高了打磨效率。

本发明进一步设置为：所述驱动组件包括转动连接在所述机架上的驱动杆、固定连接在所述驱动杆上的驱动齿轮、固定连接在所述机架上且包围下磨盘的安装板、固定连接在所述安装板上的环形齿条，所述安装片的周侧上开设有转动齿，所述转动齿同时与所述驱动齿轮和环形齿条啮合。

通过采用上述技术方案，驱动杆转动带动驱动齿轮转动，驱动齿轮后，在转动齿和环形齿条的作用下，安装板发生移动，从而带动硅片在上磨盘和下磨盘之间移动，从而实现对硅片的打磨；安装板的移动，使得硅片持续接触到研磨砂，从而提高了打磨的效率。

本发明进一步设置为：上磨盘通过升降组件升降设置在所述转动盘上，所述升降组件包括若干个固定连接在所述转动盘上的液压缸，所述液压缸的推动杆与所述上磨盘固定连接。

通过采用上述技术方案，液压缸带动上磨盘发生移动，使得上磨盘与硅片发生抵触，当硅片在打磨后变薄时，液压缸使得上磨盘随着硅片的变薄而继续移动，从而实现对硅片的持续打磨。

本发明进一步设置为：所述转动盘上固定连接有加强杆，所述加强杆上开设有伸缩槽，所述伸缩槽内滑动连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离所述加强杆的一端与所述上磨盘固定连接。

通过采用上述技术方案，伸缩杆和加强杆的设置，在不影响上磨盘正常升降的同时对液压缸分担一部分扭力，使得液压缸自身不易出现受损，延长了液压缸的使用寿命。

本发明进一步设置为：所述辅助喷砂组件包括开设在所述上磨盘上的进气孔、开设在所述下磨盘内的储料腔、开设在所述下磨盘上且与所述储料腔连通的出砂孔，所述进气孔与所述出砂孔对应，所述出砂孔倾斜设置且位于储料腔的两端。