[发明专利]一种省隔离器边发射光器件及制作方法在审
| 申请号： | 201911202484.7 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111082312A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 朱洪亮;黄永光;张瑞康;王宝军 | 申请（专利权）人： | 河南仕佳光子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/028 | 分类号： | H01S5/028;H01S5/22 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 郑园 |
| 地址： | 458030 河南省鹤壁市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种省隔离器边发射光器件及制作方法，包括如下步骤：S1，在半导体衬底上外延生长缓冲层和有源波导层；S2，腐蚀有源波导层的端部，制作无波导段；S3，在有源波导层和无波导段上作二次外延层生长；S4，在二次外延层上制作边发射光器件的条形结构，减薄衬底的背面，在光器件的正面和背面分别制作正面电极和背面电极；S5，在边发射光器件的出光端面蒸镀减反射介质膜I。本发明通过在边发射光器件的端面制作无波导段，使端面反射光和外部反射光失去波导的引导，减弱了对有源区的干扰；同时节省了光器件与光纤之间的光隔离器，减少了插入损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隔离器 发射 器件 制作方法 | ||
【主权项】：
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