[发明专利]一种微透镜的制作方法有效
| 申请号： | 201911201078.9 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110850513B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 汪学方;许剑锋;陆栩杰;张雨雨;张贻政 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 孔娜;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于微纳三维曲面加工相关技术领域，其公开了一种微透镜的制作方法，所述制作方法包括以下步骤：(1)提供衬底，并在所述衬底上制备掩蔽层，所述掩蔽层在所述衬底上的位置与待制作的微透镜于所述衬底上的位置一致；(2)对所述衬底进行热氧化后，再对所述衬底进行氢氟酸湿法腐蚀或者氟化氢气体干法刻蚀以去掉所述衬底在热氧化时所产生的二氧化物；其中；(3)重复步骤(2)，直至所述掩蔽层自所述衬底上脱离，由此在所述衬底上形成微透镜。本发明通过提高温度、增大氧化剂气压、向衬底内掺入高浓度杂质来提高微透镜的加工效率，由此解决微透镜加工精度较低、加工效率差、加工成本高的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透镜 制作方法 | ||
【主权项】：
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