[发明专利]交接力测量装置及方法、光刻机有效
| 申请号： | 201911194855.1 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN112859531B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 刘月;张阔峰;陈还;牛增欣;周美君 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01L5/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种交接力测量装置及方法、光刻机，通过测力单元测得工件在交接过程中的受力情况并以信号形式输出至反馈控制单元，通过所述反馈控制单元将信号分析处理后反馈至所述工件承载单元或所述工件传输单元，以控制工件的传输和吸附，进而减少交接过程中工件的变形，提高工件的交接精度。 | ||
| 搜索关键词： | 接力 测量 装置 方法 光刻 | ||
【主权项】：
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