[发明专利]交接力测量装置及方法、光刻机

权利要求书

1.一种交接力测量装置，其特征在于，包括：

工件承载单元，用于承载工件；

工件传输单元，用于传输工件至所述工件承载单元，实现工件的交接；

测力单元，设置在所述工件或工件承载单元上，用于测量工件交接过程中工件或工件承载单元的受力并以信号形式输出；

反馈控制单元，与所述工件承载单元、所述测力单元及所述工件传输单元信号连接，用于接收所述测力单元输出的信号，并将所述信号分析处理后反馈至所述工件承载单元或所述工件传输单元，以控制所述工件交接过程中的受力，减少所述工件变形；

其中，所述工件为掩模版，所述工件承载单元为掩模台，所述测力单元设置在工件承载单元上，测量工件交接过程中工件承载单元受力并以信号形式输出，所述反馈控制单元接收所述信号，将所述信号分析处理后反馈至所述工件传输单元；或者，

所述工件为硅片，所述工件承载单元为具有吸附能力的平台，所述测力单元设置在工件上，测量工件交接过程中工件的受力并以信号形式输出，所述反馈控制单元接收所述信号，将所述信号分析处理后反馈至所述工件承载单元。

2.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于，所述测力单元包括薄片式压力传感器。

3.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于，所述工件传输单元为交换版手或机械手片叉。

4.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于，所述工件传输单元上设置有第一控制器以控制工件的传输参数。

5.根据权利要求4所述的交接力测量装置，其特征在于，所述工件传输参数包括工件传输的速度、加速度及加加速度。

6.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于，所述工件承载单元上设置有第二控制器以控制工件的吸附参数。

7.根据权利要求6所述的交接力测量装置，其特征在于，所述吸附参数包括吸附真空的压强。

8.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于，所述交接力测量装置应用在光刻机掩模传输分系统与掩模台交接过程或硅片传输分系统中的预对准过程。

9.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的交接力测量装置。

10.一种交接力测量方法，其特征在于，包括：

工件传输单元传输工件至工件承载单元；

测力单元测量工件或工件承载单元的受力并以信号形式输出；

反馈控制单元接收所述测力单元输出的信号，并将所述信号分析处理后反馈至所述工件承载单元或所述工件传输单元，以控制所述工件交接过程中的受力，减少所述工件变形；

其中，所述工件为掩模版，所述工件承载单元为掩模台，所述测力单元设置在工件承载单元上，测量工件交接过程中工件承载单元受力并以信号形式输出，所述反馈控制单元接收所述信号，将所述信号分析处理后反馈至所述工件传输单元；或者，

所述工件为硅片，所述工件承载单元为具有吸附能力的平台，所述测力单元设置在工件上，测量工件交接过程中工件的受力并以信号形式输出，所述反馈控制单元接收所述信号，将所述信号分析处理后反馈至所述工件承载单元。

11.根据权利要求10所述的交接力测量方法，其特征在于，所述测力单元测量所述工件传输单元与所述工件承载单元进行工件交接时所述工件传输单元对所述工件承载单元的冲击力。

12.根据权利要求11所述的交接力测量方法，其特征在于，所述工件传输单元上设置有第一控制器以控制工件的传输参数，所述交接力测量方法还包括：

所述工件传输单元根据所述反馈控制单元的反馈信息，判断所述工件承载单元的冲击力与第一设定值的关系，所述第一控制器根据判断结果调整工件的传输参数。