[发明专利]薄膜的定点去除装置、显示基板及其制作方法有效
| 申请号： | 201911194668.3 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110879511B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 于朝阳 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 215301 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜的定点去除装置、显示基板及其制造方法，其中薄膜的定点去除装置包括定点铺锡设备、成膜设备和降温相变设备；定点铺锡设备用于在第一表面形成至少一个含锡相变图案，每个含锡相变图案位于对应的标记区域内并覆盖对位标记，含锡相变液包括白锡；成膜设备用于形成薄膜，薄膜包括覆盖含锡相变图案的牺牲膜层和覆盖第一表面的功能膜层；降温相变设备用于容置形成薄膜后的衬底基板，并用于降低衬底基板周围的温度，以使含锡相变图案内的白锡发生相变且体积膨胀，暴露出对位标记，使得曝光机能够准确对位；含锡相变液的粘度和涂布量易于控制，因此定点去除薄膜时不会损伤有效区内的薄膜，也不会产生对位标记暴露不完全的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 定点 去除 装置 显示 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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