[发明专利]薄膜的定点去除装置、显示基板及其制作方法

说明书

本发明提供一种薄膜的定点去除装置、显示基板及其制造方法，其中薄膜的定点去除装置包括定点铺锡设备、成膜设备和降温相变设备；定点铺锡设备用于在第一表面形成至少一个含锡相变图案，每个含锡相变图案位于对应的标记区域内并覆盖对位标记，含锡相变液包括白锡；成膜设备用于形成薄膜，薄膜包括覆盖含锡相变图案的牺牲膜层和覆盖第一表面的功能膜层；降温相变设备用于容置形成薄膜后的衬底基板，并用于降低衬底基板周围的温度，以使含锡相变图案内的白锡发生相变且体积膨胀，暴露出对位标记，使得曝光机能够准确对位；含锡相变液的粘度和涂布量易于控制，因此定点去除薄膜时不会损伤有效区内的薄膜，也不会产生对位标记暴露不完全的问题。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及薄膜的定点去除装置、显示基板及其制作方法。

背景技术

在On-Cell Touch显示面板的制程中，需要在玻璃基板的上表面形成用于实现触控功能的触控电极。图1为现有技术中一种显示基板的制作方法的步骤示意图，图2为现有技术中一种显示基板的制作方法的流程示意图，请参图1和图2，玻璃基板11包括多个对位标记(Mark)111，在玻璃基板11上进行金属层12成膜后，金属层12会覆盖对位标记111，为了使得曝光机的图像传感器13能够抓取对位标记111，需要对金属层12进行腐蚀形成缺口121，常用的方法是滴注酸液以暴露出对位标记111，再进行光阻涂布，曝光机在图像传感器13抓取对位标记111后进行曝光。

然而，酸液易扩散，酸液对金属层12的腐蚀区域大小和腐蚀程度不易控制，可能导致有效区域内的金属层12被腐蚀，造成触控电极的断线不良，使得产品被报废，也可能造成对位标记111未完全暴露，造成曝光机无法对位。

前面的叙述在于提供一般的背景信息，并不一定构成现有技术。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种薄膜的定点去除装置、显示基板及其制作方法，解决定点去除薄膜以暴露出对位标记，使得曝光机能够准确对位的问题。

本发明提供一种薄膜的定点去除装置，适用于一衬底基板，所述衬底基板包括相对设置的第一表面和第二表面，所述衬底基板还设有至少一个标记区域，所述第一表面和/或所述第二表面在所述标记区域内形成有对位标记；所述定点去除装置包括定点铺锡设备、成膜设备和降温相变设备；

所述定点铺锡设备用于在所述第一表面涂布含锡相变液以形成至少一个含锡相变图案，每个所述含锡相变图案位于对应的所述标记区域内并覆盖所述对位标记，所述含锡相变液包括白锡；

所述成膜设备用于形成所述薄膜，所述薄膜包括覆盖所述含锡相变图案的牺牲膜层和覆盖所述第一表面的功能膜层；

所述降温相变设备用于容置形成所述薄膜后的所述衬底基板，并用于降低所述衬底基板周围的温度，以使所述含锡相变图案内的白锡发生相变且体积膨胀，以顶破所述牺牲膜层。

进一步地，所述定点铺锡设备包括第一导轨、两条第二导轨和铺锡单元，两条所述第二导轨分别设置在所述第一导轨两侧，所述第一导轨和所述第二导轨正交，所述第一导轨上载有所述铺锡单元；所述第一导轨和所述第二导轨控制所述铺锡单元在所述衬底基板的上方移动；

所述铺锡单元包括储锡壳体和管路壳体；所述储锡壳体内设有用于储存所述含锡相变液的储锡腔室，所述储锡壳体的内、外壁间设置夹层并布设恒温加热线圈，所述恒温加热线圈用于控制所述储锡腔室内的所述含锡相变液保持液态；所述管路壳体连接在所述储锡壳体下方，所述管路壳体内设有铺锡管路，所述管路壳体的底部还设有涂布嘴，所述涂布嘴、所述铺锡管路和所述储锡腔室连通；所述管路壳体的内、外壁间设置夹层并布设变温线圈，所述变温线圈用于控制所述含锡相变液的涂布面积和涂布厚度。

进一步地，所述变温线圈包括第一变温线圈和第二变温线圈，所述第二变温线圈相较所述第一变温线圈更靠近所述涂布嘴。