[发明专利]一种适用于超高压双自由度串联协同的高精度输送装置

摘要

一种适用于超高压双自由度串联协同的高精度输送装置，属于机械技术领域。本发明用于实现柱塞杆的往复运动，采用驱动部件配合高精度滚珠丝杠的方式实现，滚珠丝杠副采用丝杠旋转，螺母往复运动的方式，通过螺母往复运动带动柱塞杆往复运动。主要包括：驱动部件、传动轴系、恒温壳体和缓冲部件等组成。驱动部件包括电机和编码器，用于提供柱塞运动的动力和实现位置的准确控制；传动部件是将电机的传转运动转化为柱塞的往复运动；恒温壳体实现对装置温度的控制，从而减少热量对精度带来的影响；缓冲组件用于缓解传动部件在往复过程中加速度频繁交变引入的冲击问题。