[发明专利]OPC修正方法及OPC修正装置

摘要

本发明涉及光刻技术领域，尤其涉及一种OPC修正方法及OPC修正装置。所述OPC修正方法包括如下步骤：分割目标图案的线条端，形成多个片段；选择一片段作为待处理的目标片段，并检测一目标片段所在的线条端周围预设范围内是否存其他线条端，若是，则将其他线条端作为临近线条端，并将所述目标片段所在的线条端作为目标线条端；沿平行于所述临近线条端指向所述目标线条端的方向移动所述临近线条端上的片段，以实现对所述目标图案的OPC修正。本发明使得目标图案中的多个临近线条端能够同时达到收敛，避免了多线端图形在OPC修正过程中易出现冲突的问题，改善了OPC修正效果。