[发明专利]防尘薄膜组件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种防尘薄膜组件及其制造方法。防尘薄膜组件可提升防尘薄膜的强度，缓和曝光时的高速扫描运动所造成的防尘薄膜的振动，而抑制迭对恶化。本发明为达到上述目的，提供一种防尘薄膜组件，于防尘薄膜框架张设有防尘薄膜；上述防尘薄膜，是施行了退火处理的防尘薄膜。并且提供一种防尘薄膜组件的制造方法，是于防尘薄膜框架张设防尘薄膜而制造防尘薄膜组件的方法；上述方法包含以下步骤之一：在将上述防尘薄膜张设于防尘薄膜框架之前，对上述防尘薄膜单体进行退火处理的步骤；在上述防尘薄膜的张设后，对防尘薄膜组件进行退火处理的步骤；或在上述防尘薄膜的张设前及张设后的双方，对防尘薄膜单体及防尘薄膜组件进行退火处理的步骤。