[发明专利]一种大高宽比微结构的光学检测方法有效
| 申请号： | 201911178380.7 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110926362B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 刘刚;魏文彬;熊瑛;侯双月;田扬超 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大高宽比微结构的光学检测方法，通过观察不同微结构对入射光的不同反射情况，无损检测微结构的侧壁形貌，快速地判断大高宽比微结构是否发生倾斜、扭曲。本发明可以对光刻胶和金属微结构的侧壁形貌进行无损检测，也可以对光刻胶与金属共存的微结构侧壁形貌进行无损检测。本发明中采集的是高衬度的图像，结合样品工作台的快速扫描，可以实现对大尺寸样品的快速检测。本发明可以对工艺过程中的样品进行检测，能够实现样品的原位工况检测。本发明中侧壁倾角检测精度与选择的物镜相关，物镜的放大倍数越高可以提供越高的侧壁倾角检测精度，通常的，可以实现0.1°的侧壁倾角检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大高宽 微结构 光学 检测 方法 | ||
【主权项】：
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