[发明专利]一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法在审
申请号: | 201911173284.3 | 申请日: | 2019-11-26 |
公开(公告)号: | CN110848451A | 公开(公告)日: | 2020-02-28 |
发明(设计)人: | 祝君 | 申请(专利权)人: | 上海华力集成电路制造有限公司 |
主分类号: | F16K31/60 | 分类号: | F16K31/60;F16K31/02 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 戴广志 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法,左右对称且相互拼接的两个阀门;分别位于两个阀门顶部的流量调节旋钮;分别位于两个阀门侧壁用于在阀门关闭后调节回吸的第一旋钮;分别位于两个阀门侧壁的导电PFA管;流量调节旋钮与第一旋钮上分别设有金属阀杆;流量调节旋钮上的金属阀杆、第一旋钮上的金属阀杆分别与track机台外壳之间连接有接地导线。将阀门单次打开的时间缩短,将阀门两次打开的间隔时间增加;在流量调节阀金属阀杆与机台外壳之间形成保护接地;将机台管路替换成导电PFA管,并在大量排液前,在阀门两端进行保护接地。有效改善了阀门损坏的现象,从而有效地减少了公司因阀门内漏产生的经济损失。 | ||
搜索关键词: | 一种 track 机台 流量 防止 损坏 使用方法 | ||
【主权项】:
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