[发明专利]一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法

说明书

本发明提供一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法，左右对称且相互拼接的两个阀门；分别位于两个阀门顶部的流量调节旋钮；分别位于两个阀门侧壁用于在阀门关闭后调节回吸的第一旋钮；分别位于两个阀门侧壁的导电PFA管；流量调节旋钮与第一旋钮上分别设有金属阀杆；流量调节旋钮上的金属阀杆、第一旋钮上的金属阀杆分别与track机台外壳之间连接有接地导线。将阀门单次打开的时间缩短，将阀门两次打开的间隔时间增加；在流量调节阀金属阀杆与机台外壳之间形成保护接地；将机台管路替换成导电PFA管，并在大量排液前，在阀门两端进行保护接地。有效改善了阀门损坏的现象，从而有效地减少了公司因阀门内漏产生的经济损失。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别是涉及一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法。

背景技术

TEL track机台在更换过滤器、故障处置、移机等方面，需要对管路内的化学品进行大量的排液动作。由于化学管道和阀门主要材质为PFA，当流道内产生静电时，无法安全释放。造成流量阀膜片被静电击穿，流量阀内漏。受流体纯度要求，PFA相比于金属具有无材质析出的优点，半导体有机溶液走的均为超洁净的PFA管路。受制于PFA无法导电的特性，当流体在流道内流速过高时，流体冲刷膜片较容易产生静电现象。由于TEL track机台内化学管路大部分为1/8-3/8英寸的细管，所对应的流量阀体积较小，膜片本身较薄。长期的静电现象导致流量阀膜片逐渐变薄，最终出现击穿，产生流量阀内漏。由于机台无法有效监控内漏，产品因此大量受损。

因此，需要提出一种新的track机台流量阀及防止其损坏的使用方法来解决上述问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法，用于解决现有技术中对track机台管路中的大量液体排放过程中出现的流量阀膜片被静电击穿，流量阀内漏，从而造成产品受损的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种track机台流量阀，至少包括：左右对称且相互拼接的两个阀门；分别位于所述两个阀门顶部的流量调节旋钮；分别位于所述两个阀门侧壁用于在所述阀门关闭后调节回吸的第一旋钮；分别位于所述两个阀门侧壁的导电PFA管，其中一个所述导电PFA管为进液管，另一个所述导电PFA管为排液管；所述流量调节旋钮与所述第一旋钮上分别设有金属阀杆；所述流量调节旋钮上的金属阀杆、所述第一旋钮上的金属阀杆分别与所述track机台外壳之间连接有接地导线。

优选地，位于所述两个阀门侧壁的所述第一旋钮上分别设有用于在所述阀门开启前调节回吸的第二旋钮。

优选地，分别位于所述两个阀门顶部的流量调节旋钮，其分别控制所述两个阀门的不同流量。

优选地，所述导电PFA管的外表面设有一层导电材料，所述导电PFA管的内壁与液体接触的部分为氟树脂软管。

优选地，所述阀门为耐腐蚀金属隔膜阀。

优选地，所述阀门的材料为蒙乃尔合金或哈氏合金。

本发明还提供一种防止所述track机台流量阀损坏的使用方法，该方法包括以下步骤：

步骤一、提供需要进行排液操作的所述track机台流量阀；

步骤二、排液前，分别在所述流量调节旋钮上的金属阀杆、所述第一旋钮上的金属阀杆与所述track机台外壳之间连接接地导线，形成保护接地；

步骤三、打开所述阀门30秒，期间通过所述流量调节旋钮调节排液流量的大小；

步骤四、当所述阀门内的液体经过所述进液管后，从所述排液管排出后，关闭所述阀门；

步骤五、调节所述第一旋钮，将剩余的液体吸回阀门。