[发明专利]一种具有梳齿式结构的金属铜微通道热沉及制作方法有效
| 申请号： | 201911162003.4 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN111001982B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 杜立群;白志鹏;翟科;曹强;张希;王舒萱;温义奎 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;H05K7/20 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 李晓亮;潘迅 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有梳齿式结构的金属铜微通道热沉及制作方法，属于微制造技术领域。通过分别在两片金属铜基板上制作微通道结构，将基板上分别设置的凹槽和凸起结构对准并封装两片基板，形成梳齿式结构的金属铜微通道，每一片基板上微通道的宽度较宽，方便SU‑8胶的去除，并且梳齿式结构的微通道有利于减小对冷却介质的流动阻力。本发明解决了现有的基于UV‑LIGA技术制作的金属铜微通道热沉，因其具有小线宽、大深宽比的特点，一方面在电铸工艺完成后，SU‑8胶难以去除；另一方面小线宽金属铜微通道热沉的流动阻力较大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 梳齿 结构 金属 通道 制作方法 | ||
【主权项】：
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