[发明专利]一种具有介质隔离测量模块的压力传感器在审
申请号: | 201911158400.4 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN111006810A | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 王小平;吴登峰;李凡亮;曹万 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | G01L19/06 | 分类号: | G01L19/06 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 汤蔚莉 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及压力传感器技术领域,且公开了种具有介质隔离测量模块的压力传感器,从上至下依次包括防护盖、第一外壳和介质隔离模块,所述介质隔离模块包括基座。具有介质隔离测量模块的压力传感器,通过基座、金属件和膜片之间形成第一腔室,用于隔离封装硅油,将压力芯片进行隔离封装进行保护,避免与检测介质直接接触,造成腐蚀,并且限位圆环将缓冲空心圆柱和膜片进行隔离,并且可实时快速泄放积液,防止冰冻损坏膜片,可保证传感器输出精度,避免检测介质在低温时,结冰体积增大,缓冲空心圆柱可吸收体积的变化,实现了质兼容性强的目的,并且可抵抗尿素溶液冰冻产生的过载压力和防止冰冻损坏,同时确保高精度输出。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 介质隔离 测量 模块 压力传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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