[发明专利]一种具有介质隔离测量模块的压力传感器在审
申请号: | 201911158400.4 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN111006810A | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 王小平;吴登峰;李凡亮;曹万 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | G01L19/06 | 分类号: | G01L19/06 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 汤蔚莉 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 介质隔离 测量 模块 压力传感器 | ||
本发明涉及压力传感器技术领域,且公开了种具有介质隔离测量模块的压力传感器,从上至下依次包括防护盖、第一外壳和介质隔离模块,所述介质隔离模块包括基座。具有介质隔离测量模块的压力传感器,通过基座、金属件和膜片之间形成第一腔室,用于隔离封装硅油,将压力芯片进行隔离封装进行保护,避免与检测介质直接接触,造成腐蚀,并且限位圆环将缓冲空心圆柱和膜片进行隔离,并且可实时快速泄放积液,防止冰冻损坏膜片,可保证传感器输出精度,避免检测介质在低温时,结冰体积增大,缓冲空心圆柱可吸收体积的变化,实现了质兼容性强的目的,并且可抵抗尿素溶液冰冻产生的过载压力和防止冰冻损坏,同时确保高精度输出。
技术领域
本发明涉及压力传感器技术领域,具体为一种具有介质隔离测量模块的压力传感器。
背景技术
随着国家对车辆排放法规的加严,汽车尾气后处理SCR系统逐步在商用车中逐步普及,MEMS(微机电系统)压力传感器作为SCR系统重要的传感器件,也面临着严峻的技术考验。
现有技术中的压力传感器仅能承受两倍过载压力和三倍爆破压力,但是SCR系统使用的尿素溶液在低温时,结冰体积增大可产生100MPa的过载压力,远高于普通传感器可承受范围,在室外低温冰冻环境下,压力传感器芯片极易被损坏,并且另一方面,由于尿素溶液的弱腐蚀性特点,导致常规压力传感器的耐久性较差,使用寿命短,故而提出一种具有介质隔离测量模块的压力传感器来解决上述所提出的问题。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种具有介质隔离测量模块的压力传感器,具备介质兼容性强的等优点,解决了现有技术中的压力传感器在室外低温冰冻环境下,压力传感器芯片极易被损坏,并且另一方面,由于尿素溶液的弱腐蚀性特点,导致常规压力传感器的耐久性较差,使用寿命短的问题。
(二)技术方案
为实现上述介质兼容性强的目的,本发明提供如下技术方案:一种具有介质隔离测量模块的压力传感器,从上至下依次包括防护盖、第一外壳和介质隔离模块;
所述介质隔离模块包括基座,所述基座的内部固定连接有压力芯片,所述基座的下端依次密封连接有金属件和压力接口,所述金属件和压力接口之间设有膜片;
所述基座、金属件和膜片之间形成第一腔室,用于隔离封装;
所述第一腔室的内部填充有硅油,用于传递压力,所述基座的上端设有硅油填充孔,所述硅油填充孔的上端密封连接有钢珠。
优选的,所述压力接口的内部设有第二腔室,所述第二腔室的上端且位于膜片的下方安装有限位圆环;所述限位圆环的上端面为倾斜状的环形面,用于限位和防止积液。
优选的,所述第二腔室的下端连接有挡片,所述第二腔室的内部通过限位圆环和挡片安装有内部填充有检测介质的缓冲空心圆柱,用于吸收检测介质的体积变化;所述限位圆环用于将缓冲空心圆柱和膜片进行隔离,避免两者接触。
优选的,所述压力接口的外表面设有O型圈槽,所述O型圈槽的内部适配连接有密封件。
优选的,所述第一外壳内部镶嵌冲压成型的信号引出线,第一外壳通过注塑工艺一体成型。
优选的,所述防护盖和第一外壳之间设有第一电路板,所述压力芯片上设置有引脚,所述第一电路板与压力芯片上的引脚和第一外壳内的信号引出线电信连接。
(三)有益效果
与现有技术相比,本发明提供了一种具有介质隔离测量模块的压力传感器,具备以下有益效果:
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