[发明专利]用于存储浆料的容器和具有该容器的化学机械研磨设备在审
| 申请号： | 201911153897.0 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN112692723A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 李善雄 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 肖昀 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 用于存储浆料的容器和具有该容器的化学机械研磨设备。本发明提供了一种用于存储具有气相二氧化硅颗粒的浆料的容器。该容器包括具有用于容纳浆料的内部空间的主体和配置在主体的内部空间中的过滤器。过滤器是具有多个孔隙的多孔膜。过滤器具有上表面和下表面。所述多个孔隙具有从上表面到下表面减小的孔径分布。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 存储 浆料 容器 具有 化学 机械 研磨 设备 | ||
【主权项】：
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