[发明专利]一种保温炉运动密封装置及其PCVD沉积车床

摘要

本发明公开了一种保温炉运动密封装置及其PCVD沉积车床，所述保温炉运动密封装置，包括支撑底座、固定在支撑底座上的固定框架以及多组隔热组件，所述多组隔热组件沿保温炉的长度方向等距分布，每个隔热组件均通过一个支撑板固定在固定框架上，隔热组件的上部伸入保温炉的凹缝内且其侧面与凹缝的内壁之间留有缝隙。本发明的密封装置在往复运动中能够对保温炉进行良好密封，提高了保温炉炉温的稳定性，并可有效降低保温炉的能耗；且对运动载台的载荷以及冲击载荷很小，提高了沉积设备的机械使用寿命。