[发明专利]一种保温炉运动密封装置及其PCVD沉积车床

权利要求书

1.一种保温炉运动密封装置，其特征在于，包括：

可在保温炉的长度方向上往复运动的支撑底座；

固定在支撑底座上的固定框架；

以及用以密封保温炉开口处的凹缝的多组隔热组件；

其中，所述多组隔热组件沿保温炉的长度方向等距分布，每个隔热组件均通过一个支撑板固定在固定框架上，隔热组件的上部伸入保温炉的凹缝内且其侧面与凹缝的内壁之间留有缝隙；

所述隔热组件包括第一隔热板和第二隔热板，所述第二隔热板通过支撑板固定在固定框架上端面上，第一隔热板通过紧固件与第二隔热板相连，第一隔热板与第二隔热板之间设置有垫片，所述第一隔热板伸入保温炉的凹缝内且其两侧面与凹缝的相应内壁之间均留有2mm-5mm的缝隙。

2.根据权利要求1所述的保温炉运动密封装置，其特征在于，所述第一隔热板上铺设有保温材料层。

3.根据权利要求2所述的保温炉运动密封装置，其特征在于，所述第一隔热板为U型板，保温材料层铺设在第一隔热板的U型槽内。

4.根据权利要求1所述的保温炉运动密封装置，其特征在于，所述第二隔热板的长度不短于第一隔热板的长度，第二隔热板的宽度为保温炉的凹缝宽度的1.2-2倍。

5.根据权利要求4所述的保温炉运动密封装置，其特征在于，所述第二隔热板的长度比第一隔热板的长度长5mm-10mm，第二隔热板的宽度为保温炉的凹缝宽度的1.5-1.8倍。

6.根据权利要求1或4或5所述的保温炉运动密封装置，其特征在于，所述第二隔热板设置在保温炉下方5mm-10mm的位置。

7.根据权利要求1所述的保温炉运动密封装置，其特征在于，所述支撑底座包括下底板、上底板和调节螺杆，所述下底板固定在沉积车床导轨的滑台上，所述上底板上开设有多个固定孔，调节螺杆的一端固定在下底板上、另一端穿过固定孔并调节螺母锁紧固定，所述上底板的上方和下方均设有调节螺母。

8.一种PCVD沉积车床，其特征在于，包括权利要求1-7中任一项所述的保温炉运动密封装置，所述保温炉运动密封装置设置在所述PCVD沉积车床的运动载台的两侧，保温炉运动密封装置通过阻尼连杆与运动载台相连，左、右两个保温炉运动密封装置通过跨接板相连。

9.根据权利要求8所述的PCVD沉积车床，其特征在于，所述跨接板的两端开设有安装孔，跨接板通过穿插在安装孔内的跨接螺杆固定在保温炉运动密封装置的固定框架上。