[发明专利]一种手动上光阻上片载具在审
| 申请号： | 201911147867.9 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110828357A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 袁康 | 申请（专利权）人： | 江苏索尔思通信科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 南京勤行知识产权代理事务所(普通合伙) 32397 | 代理人： | 罗柱平 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种手动上光阻上片载具包括取片手柄和限位弧块，所述取片手柄一端设置有C型开口槽；另一端为把手，所述C型开口槽上固定有晶圆存放槽，所述限位弧块固定在所述取片手柄上，且可外切紧密连接在设备旋转平台外，限位弧块圆心、C型开口槽中心与设备上旋转平台中心重合。本发明替代了镊子夹取晶圆的动作，同时一次操作即可将晶圆放置在旋转平台的中心位置，提高涂布均匀性并节省挪片时间，有效改善晶圆表面夹伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 手动 上光 上片 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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