[发明专利]一种手动上光阻上片载具

说明书

本发明公开了一种手动上光阻上片载具包括取片手柄和限位弧块，所述取片手柄一端设置有C型开口槽；另一端为把手，所述C型开口槽上固定有晶圆存放槽，所述限位弧块固定在所述取片手柄上，且可外切紧密连接在设备旋转平台外，限位弧块圆心、C型开口槽中心与设备上旋转平台中心重合。本发明替代了镊子夹取晶圆的动作，同时一次操作即可将晶圆放置在旋转平台的中心位置，提高涂布均匀性并节省挪片时间，有效改善晶圆表面夹伤。

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体而言涉及一种手动上光阻上片载具。

背景技术

在半导体的制造过程中，使用镊子夹取晶圆放置在旋转平台上，然后使用镊子推晶圆侧面使晶圆圆心位置尽量在旋转平台中心。整个操作过程易造成晶圆表面的夹伤，亦存在掉片的风险。

发明内容

本发明以设计制造一种手动上光阻上片载具以取代镊子夹取的动作，旨在有效的降低晶圆破片及夹伤风险，大幅降低成本损失。

为了实现以上目的，本发明采取以下方案：

一种手动上光阻上片载具，包括取片手柄和限位弧块，取片手柄一端设置有C型开口槽；另一端为把手，所述C型开口槽上固定有晶圆存放槽，限位弧块固定在取片手柄上，且可外切紧密连接在设备旋转平台外，限位弧块圆心、C型开口槽中心与设备上旋转平台中心重合。

优选的，晶圆存放槽为C型开口槽与内接的C型凸起环构成，所述C型凸起环的开口宽度小于晶圆的直径，晶圆存放槽可以存放晶圆。

优选的，C型凸起环上至下设有至少两个台阶，最上层台阶存放晶圆。

优选的，C型凸起环由不对晶圆产生磨损且具有一定强度不易变形的材料制成，比如说塑料。

优选的，限位弧块可拆卸的固定在取片手柄上，移除限位弧块后，取位手柄可以用于不用定位时晶圆的移取。

优选的，C型开口槽和把手之间开设对称的通孔，通孔上设有内螺纹，限位弧块与取片手柄螺纹连接。

使用时，将限位弧块装在取片手柄下，用真空吸笔吸取晶圆，再将真空吸笔外侧贴合取片手柄的最下层台阶侧壁，关闭真空吸笔，使晶圆落在最上层台阶上；将手动上片载具限位弧块与旋转平台下部PP环紧密接触；.将手动上片载具在垂直方向，由上至下运动，待晶圆平稳停留在旋转平台上后再水平方向抽出载具；按下设备端吸真空按钮，完成上片动作。

本发明替代了镊子夹取晶圆的动作，同时一次操作即可将晶圆放置在旋转平台的中心位置，提高涂布均匀性并节省挪片时间，有效改善晶圆表面夹伤。

附图说明

图1为本发明实施例取片手柄的俯视图；

图2为本发明实施例限位弧块的俯视图；

图3为本发明实施例工作时装载晶圆沿取位手柄和限位弧块中心线的剖视图；

图4为本发明实施例工作时上位晶圆沿取位手柄和限位弧块中心线的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

如图1所示，一种手动上光阻上片载具，包括取片手柄1和限位弧块3，取片手柄1一端设置有C型开口槽4；另一端为把手5，所述C型开口槽4上固定有晶圆存放槽6，限位弧块固定在取片手柄1上，且可外切紧密连接在设备旋转平台11外，限位弧块3圆心、C型开口槽4中心线与设备上旋转平台11中心重合。

晶圆存放槽6为C型开口槽4与内接的C型凸起环5构成，C型凸起环5的开口宽度小于晶圆的直径，晶圆存放槽6可以存放晶圆10。

C型凸起环5上至下设有两个台阶，最上层台阶14存放晶圆10，C型凸起环和两个台阶的中心也和C型开口槽。