[发明专利]一种氧化物体系红外增透保护膜的设计方法

摘要

本发明涉及一种氧化物体系红外增透保护膜的设计方法，属于光学薄膜技术领域。本发明设计了一种基于氧化物薄膜体系的红外增透保护膜设计方法，该方法采用Y2O3薄膜为主体薄膜材料、Al2O3薄膜材料为过渡层、HfO2薄膜为最外层保护膜的设计方案，通过匹配三种氧化物实现复合红外增透保护膜的设计。该红外增透保护膜能够实现ZnS红外窗口在7.5μm‑9.7μm波段的高效增透，同时由于Al2O3薄膜过渡层及HfO2最外层保护膜的引入，降低了膜系应力并提高了膜系机械强度，使得该红外增透保护膜在恶劣服役环境下的稳定性得到增强，对于红外光学窗口在精确制导等方面的应用具有重要价值。