[发明专利]搬运系统在审

专利信息
申请号: 201911139649.0 申请日: 2019-11-20
公开(公告)号: CN111261563A 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 大河原聪 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 乔婉;于靖帅
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供搬运系统,对多个加工装置分别搬运被加工物,其包含搬运通路、无人被加工物搬运车、贮存单元和控制单元。搬运通路在多个加工装置的整个范围内设置于加工装置的正上方的空间。贮存单元包含:载置台,其载置收纳多个被加工物的被加工物贮存器;两组暂放台,它们暂放从载置台上的被加工物贮存器中搬出的被加工物;暂放台移动部,其以在面对载置台的第1位置与旁边的第2位置之间调换两组暂放台的方式移动;被加工物搬运部,其在面对第2位置的交接区域与无人被加工物搬运车之间搬运被加工物;被加工物移动单元,其使被加工物在位于第1位置的暂放台与载置台之间或位于第2位置的暂放台与交接区域之间移动;和接收机,其接收控制信号。
搜索关键词: 搬运 系统
【主权项】:
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