[发明专利]搬运系统

说明书

提供搬运系统，对多个加工装置分别搬运被加工物，其包含搬运通路、无人被加工物搬运车、贮存单元和控制单元。搬运通路在多个加工装置的整个范围内设置于加工装置的正上方的空间。贮存单元包含：载置台，其载置收纳多个被加工物的被加工物贮存器；两组暂放台，它们暂放从载置台上的被加工物贮存器中搬出的被加工物；暂放台移动部，其以在面对载置台的第1位置与旁边的第2位置之间调换两组暂放台的方式移动；被加工物搬运部，其在面对第2位置的交接区域与无人被加工物搬运车之间搬运被加工物；被加工物移动单元，其使被加工物在位于第1位置的暂放台与载置台之间或位于第2位置的暂放台与交接区域之间移动；和接收机，其接收控制信号。

技术领域

本发明涉及搬运系统，其对加工装置搬运被加工物。

背景技术

在组装于电子设备等的器件芯片的制造工序中，通过各种加工装置对以半导体晶片或树脂封装基板为代表的板状的被加工物进行加工。在对该加工装置搬运被加工物时，通常使用能够收纳多个被加工物的搬运用的盒。

但是，在将多个被加工物收纳在盒中而一次性搬运至加工装置的上述方法中，当由于某些原因而使加工装置停止时，会使收纳在盒中的未加工的被加工物一律待机。即，也无法利用其他加工装置对未加工的被加工物进行加工，因此加工的效率大幅降低。

要想克服该问题，例如只要根据加工装置的运转状况而将被加工物一张一张地搬运至加工装置即可。因此，提出了如下的搬运系统：通过搬运用的路径来连接多个加工装置，从而能够在任意的时刻对各加工装置搬运被加工物(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开平6-177244号公报

但是，在各加工装置的侧面设置有连接配管的配管连接部或维护用的门等，在构建上述的搬运系统时，需要设计搬运用的路径，以便不与它们发生干涉。因此，搬运系统的构建未必容易，并且搬运用的路径也容易变长。

发明内容

本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供搬运系统，其能够对多个加工装置分别搬运被加工物，并且容易构建。

根据本发明的一个方式，提供搬运系统，其对多个加工装置分别搬运被加工物，其特征在于，该搬运系统包含：搬运通路，其在多个该加工装置的整个范围内设置于该加工装置的正上方的空间；无人被加工物搬运车，其在该搬运通路上行驶，具有被加工物支承部、行驶机构以及接收机，其中，该被加工物支承部对该被加工物进行支承，该行驶机构设置于该被加工物支承部，该接收机接收控制信号；贮存单元，其具有载置台、两组暂放台、暂放台移动部、被加工物搬运部、被加工物移动单元以及接收机，其中，该载置台载置能够收纳多个该被加工物的被加工物贮存器，该两组暂放台暂放从该载置台上的该被加工物贮存器中搬出的该被加工物，该暂放台移动部按照在面对该载置台的第1位置和该第1位置的旁边的第2位置之间调换该两组暂放台的方式进行移动，该被加工物搬运部在面对该第2位置的交接区域与该无人被加工物搬运车之间对该被加工物进行搬运，该被加工物移动单元使该被加工物在位于该第1位置的该暂放台与该载置台之间或位于该第2位置的暂放台与该交接区域之间移动，该接收机接收控制信号；以及控制单元，其具有发送机、接收机以及控制信号生成部，其中，该发送机对该加工装置、该无人被加工物搬运车以及该贮存单元发送控制信号，该接收机接收从该加工装置发送的通知信号，该控制信号生成部生成从该发送机发送的控制信号，该控制单元的该控制信号生成部根据该控制单元的该接收机所接收到的通知信号，生成从该控制单元的该发送机发送的控制信号，该控制单元的该发送机将由该控制单元的该控制信号生成部生成的控制信号发送至该加工装置、该无人被加工物搬运车以及该贮存单元，该贮存单元的该被加工物搬运部根据该贮存单元的该接收机所接收到的控制信号，将从该被加工物贮存器中搬出的该被加工物搬运至该无人被加工物搬运车的该被加工物支承部，该无人被加工物搬运车的该行驶机构根据该无人被加工物搬运车的该接收机所接收到的控制信号，使该无人被加工物搬运车在该搬运通路上行驶，将该被加工物支承部所支承的该被加工物搬运至该加工装置。