[发明专利]微流体致动器的制造方法有效
| 申请号： | 201911127817.4 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112808330B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;戴贤忠;方麟辉;韩永隆;黄启峰;蔡长谚;李伟铭 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微流体致动器的制造方法，包含以下步骤：1.提供通过互补式金属氧化物半导体(CMOS)制程出的流道主体；2.以沉积、光刻及蚀刻制出致动单元；3.蚀刻制出至少一个流道；4.以光刻、蚀刻制程制出一振动层及一中心通孔；5.提供一孔板层，蚀刻孔板层以制出至少一个流道出口，以及滚压成型干膜材料于孔板层，借此定义出一腔室；6.覆盖对位及热压接合孔板层与流道主体，以构成该微流体致动器整体结构。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 致动器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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