[发明专利]基板处理系统有效
| 申请号： | 201911117907.5 | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111386028B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 谷口昌弘;北贵之;永冶利彦;糸濑和彦;木原正宏 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | H05K13/04 | 分类号： | H05K13/04;H05K13/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 齐秀凤 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种基板处理系统，具有处理装置、存储装置以及管理装置。处理装置对多个基板依次进行处理。存储装置存储处理装置中的多个基板的处理的数据。管理装置从存储装置读出所指定的第一基板的数据和在第一基板的前一个进行了处理的第二基板的数据，并显示于显示部的相同画面。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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