[发明专利]基板处理系统

权利要求书

1.一种基板处理系统，具备：

处理装置，对多个基板依次进行处理；

存储装置，存储所述处理装置中的所述多个基板的处理的数据；以及

管理装置，从所述存储装置读出检测出检查不合格的第一基板的数据和在所述第一基板的前一个进行了处理的第二基板的数据，并显示于显示部的相同画面。

2.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述管理装置从所述存储装置读出在所述第一基板的后一个进行了处理的第三基板的数据，并显示于所述显示部。

3.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述处理装置具备对基板进行拍摄的拍摄部，

所述数据包括由所述拍摄部拍摄到的图像。

4.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述基板处理系统还具备输入装置，该输入装置对所述管理装置指定显示所述数据的基板。

5.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述管理装置基于来自所述处理装置的信息，指定显示所述数据的基板。

6.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述处理装置是进行印刷有焊料的基板的检查的印刷检查装置。

7.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述处理装置是进行安装有部件的基板的检查的安装检查装置。

8.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述存储装置将部件识别信息与所述数据建立关联地存储。

9.根据权利要求8所述的基板处理系统，其中，

所述管理装置从所述存储装置读出安装有所述部件识别信息的部件的基板的所述数据，并显示于所述显示部。

10.根据权利要求1～9中的任一项所述的基板处理系统，其中，

所述处理装置是多个处理装置中的一个，

所述显示部将所指定的基板在所述多个处理装置中的所述数据显示于相同画面。

11.一种基板处理系统，具备：

处理装置，对多个基板依次进行处理；

存储装置，存储所述处理装置中的所述多个基板的处理的数据；以及

管理装置，从所述存储装置读出检测出检查不合格的第一基板的数据和在所述第一基板的后一个进行了处理的第三基板的数据，并显示于显示部的相同画面。

12.根据权利要求11所述的基板处理系统，其中，

所述管理装置基于来自所述处理装置的信息，指定显示所述数据的基板。

13.根据权利要求11或12所述的基板处理系统，其中，

若所述存储装置中存储有在所述第一基板的后一个进行了处理的所述第三基板的所述数据，则所述管理装置从所述存储装置读出所述第三基板的所述数据并显示于所述显示部。