[发明专利]一种表面检测装置及方法

摘要

本发明公开一种表面检测装置及方法，包括：转动机构、沿光线传播路径依次排列的第一反射模块、聚光模块和收光模块；第一反射模块、聚光模块和收光模块固定于转动机构；转动机构内设置有包括一竖直部和多个倾斜部的通孔；第一反射模块设置于竖直部，聚光模块设置于倾斜部；转动机构围绕第一旋转轴旋转；第一反射模块包括依次邻接设置的多个反射镜，每个反射镜与被测物体所在平面的夹角不同；聚光模块的焦点与收光模块的焦点重合，且焦点位于被测物体表面上；第一反射模块将检测光束反射成反射光束后通过聚光模块聚光后入射至被测物体的表面；收光模块将反射光束经由被测物体的表面散射后形成的散射光束转换为平行光束后出射。以提高检测效率。

主权项

1.一种表面检测装置，其特征在于，包括：转动机构、沿光线传播路径依次排列的第一反射模块、聚光模块和收光模块；所述第一反射模块、所述聚光模块和所述收光模块固定于所述转动机构内；所述转动机构围绕第一旋转轴旋转；/n所述转动机构内设置有通孔，所述通孔包括一个竖直部和多个倾斜部；/n所述第一反射模块包括依次邻接设置的多个反射镜，且每个所述反射镜与被测物体所在平面的夹角不同；/n所述聚光模块包括多个聚光单元；/n所述收光模块包括多个收光单元；/n所述倾斜部、所述反射镜、所述聚光单元以及所述收光单元的数量相等，且相互一一对应设置；/n所述第一反射模块设置于所述通孔的所述竖直部内，所述聚光模块的每个聚光单元设置于与所述聚光单元对应的倾斜部内；所述收光模块的每个收光单元的中心点与所述第一旋转轴的距离不同，并且每个所述收光单元的焦点与其对应的所述聚光单元的焦点重合；/n所述第一旋转轴与所述竖直部的中心对称轴平行，所述第一旋转轴垂直于被测物体表面所在的平面且与所述第一反射模块在所述被测物体表面所在平面的投影交叠；/n其中，所述第一反射模块通过其中一反射镜将沿所述竖直部入射的检测光束反射成反射光束，所述反射光束通过与所述反射镜对应的倾斜部内的聚光单元聚光后入射至所述被测物体的表面，经由所述被测物体的表面散射后形成的散射光束被相对应的收光单元转换为平行光束后出射。/n