[发明专利]一种表面检测装置及方法有效
| 申请号： | 201911112590.6 | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN110763689B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;李仲禹;韩晓荣 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/47;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201703 上海市青浦区赵巷*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种表面检测装置及方法。该表面检测装置包括：转动机构、沿光线传播路径依次排列的反射模块和收光模块；反射模块和收光模块固定于转动机构上；转动机构内设置有通孔，通孔包括竖直部和倾斜部；反射模块设置于竖直部内；转动机构围绕第一旋转轴旋转，第一旋转轴与竖直部的中心对称轴平行，第一旋转轴垂直于被测物体表面所在的平面且与反射模块在被测物体表面所在平面的投影交叠；反射模块用于将沿竖直部入射的检测光束反射成反射光束后入射至被测物体的表面；收光模块用于将反射光束经由被测物体的表面散射后形成的散射光束转换为平行光束后出射。本发明实施例提供的表面检测装置，可以实现提高检测效率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种表面检测装置，其特征在于，包括：转动机构、沿光线传播路径依次排列的反射模块和收光模块；所述反射模块和所述收光模块固定于所述转动机构内；/n所述转动机构内设置有通孔，所述通孔包括竖直部和倾斜部；所述反射模块设置于所述竖直部内；所述转动机构围绕第一旋转轴旋转，所述第一旋转轴与所述竖直部的中心对称轴平行，所述第一旋转轴垂直于被测物体表面所在的平面且与所述反射模块在所述被测物体表面所在平面的投影交叠；/n所述反射模块用于将沿所述竖直部入射的检测光束反射成反射光束后通过所述倾斜部入射至所述被测物体的表面；/n所述收光模块用于将所述反射光束经由所述被测物体的表面散射后形成的散射光束转换为平行光束后出射。/n
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