[发明专利]一种表面检测装置及方法

权利要求书

1.一种表面检测装置，其特征在于，包括：转动机构、沿光线传播路径依次排列的反射模块和收光模块；所述反射模块和所述收光模块固定于所述转动机构内；

所述转动机构内设置有通孔，所述通孔包括竖直部和倾斜部；所述反射模块设置于所述竖直部内；所述转动机构围绕第一旋转轴旋转，所述第一旋转轴与所述竖直部的中心对称轴平行，所述第一旋转轴垂直于被测物体表面所在的平面且与所述反射模块在所述被测物体表面所在平面的投影交叠；

所述反射模块用于将沿所述竖直部入射的检测光束反射成反射光束后通过所述倾斜部入射至所述被测物体的表面；

所述收光模块用于将所述反射光束经由所述被测物体的表面散射后形成的散射光束转换为平行光束后出射。

2.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，还包括：聚光模块；所述聚光模块设置于所述倾斜部；所述反射模块、所述聚光模块和所述收光模块沿光线传播路径依次排列；

所述聚光模块的焦点与所述收光模块的焦点重合，且所述焦点对应于所述被测物体表面的扫描点。

3.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，所述反射模块的形状包括棱锥体或棱台中的任意一种；所述反射模块的中心轴与所述第一旋转轴平行；所述反射模块具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述反射模块的至少一部分外侧壁设有第一平面镜，所述第一平面镜用于反射所述检测光束。

4.根据权利要求3所述的表面检测装置，其特征在于，所述收光模块包括多个收光单元。

5.根据权利要求4所述的表面检测装置，其特征在于，所述多个收光单元中至少两个收光单元采用不同光学特性的光学元件；所述不同光学特性的光学元件包括不同的透镜或不同的球面镜。

6.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，还包括：抛物面镜和光电探测器；所述反射模块、所述收光模块、所述抛物面镜和所述光电探测器沿光线传播路径依次排列；所述抛物面镜的对称轴与所述第一旋转轴平行，且所述光电探测器的感光面设置于所述抛物面镜的焦点上。

7.根据权利要求6所述的表面检测装置，其特征在于，所述抛物面镜的对称轴与所述第一旋转轴重合，所述光电探测器的感光面位于所述抛物面镜的焦点上，且所述光电探测器的感光面与所述抛物面镜的对称轴垂直。

8.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，还包括：第二平面镜和光电探测器；所述第二平面镜和所述光电探测器固定于所述转动机构内；所述反射模块、所述收光模块、所述第二平面镜和所述光电探测器沿光线传播路径依次排列；所述第二平面镜用于将所述平行光束反射至所述光电探测器。

9.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，还包括：工作台；

所述被测物体放置于所述工作台上，所述工作台沿第一方向移动；

其中，所述反射光束反射到所述被测物体的表面完成的是第二方向的扫描，所述第一方向与所述第二方向交叉。

10.一种表面检测方法，其特征在于，所述表面检测方法基于权利要求1-9任一项所述表面检测装置实现；

所述表面检测方法包括：

S1、控制反射模块将沿竖直部入射的检测光束反射成反射光束后通过倾斜部入射至所述被测物体的表面；

S2、通过收光模块将所述反射光束经由被测物体的表面散射后形成的散射光束转换为平行光束后出射。

11.根据权利要求10所述的表面检测方法，其特征在于，所述表面检测装置还包括：工作台；S1之后，还包括：控制所述工作台沿第一方向移动预设距离；或者，

S2之时，还包括：

控制所述工作台沿第一方向移动预设距离；

其中，所述反射光束反射到所述被测物体的表面完成的是第二方向的扫描，所述第一方向与所述第二方向交叉。