[发明专利]一种氮化硅粉生产过程中副产物的处理方法及系统在审
| 申请号： | 201911106566.1 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112794342A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 曾远江;黄彬;张吉武;王东国;潘小龙;包全星 | 申请（专利权）人： | 新疆晶硕新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/16 | 分类号： | C01C1/16;B01D46/02;B01D53/79;B01D53/68 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;杜丹丹 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市高新技术开*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氮化硅粉生产过程中副产物的处理方法及系统，所述方法包括：在与氮化硅粉生产反应器连接的排烟管道上设置预设数量的小孔；利用引风机将氮化硅粉生产反应器产生的氨气和氯化氢气体抽入到排烟管道中，并通过排烟管道上小孔将室温的空气充入到排烟管道中与氨气和氯化氢气体混合，以使混合气体降温；利用与排烟管道连接的除尘器过滤并收集混合气体中的氨气和氯化氢反应生成的氯化铵晶体。本发明的处理方法及系统既能有效的将生产的氮化硅粉和氯化铵分离，得到氮化硅粉，又能将分离出的氯化铵进行有效的回收，同时设置淋洗塔对未反应的氨气和氯化氢气体进行碱洗，也避免了氨气和氯化氢未反应回收造成的环境污染问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 生产过程 副产物 处理 方法 系统 | ||
【主权项】：
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