[发明专利]一种氮化硅粉生产过程中副产物的处理方法及系统

权利要求书

1.一种氮化硅粉生产过程中副产物的处理方法，其特征在于，包括：

在与氮化硅粉生产反应器连接的排烟管道上设置预设数量的小孔；

利用引风机将氮化硅粉生产反应器产生的氨气和氯化氢气体抽入到所述排烟管道中，并通过所述排烟管道上小孔将室温的空气充入到排烟管道中与氨气和氯化氢气体混合，以使混合气体降温；

利用与排烟管道连接的除尘器过滤并收集所述混合气体中的氨气和氯化氢反应生成的氯化铵晶体。

2.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述排烟管道上设置的小孔孔径为1-10mm。

3.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述排烟管道上设置的与除尘器最接近的小孔与除尘器之间的距离为1-2m。

4.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述除尘器为布袋除尘器；

所述处理方法还包括：在所述布袋除尘器下方设置集料斗，以收集氯化铵晶体。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的处理方法，其特征在于，还包括：

利用引风机将经过除尘器过滤处理后的所述混合气体抽入到淋洗塔中；

在所述淋洗塔中使用循环喷洒碱性溶液对充入淋洗塔中的混合气体进行洗涤。

6.一种氮化硅粉生产过程中副产物的处理系统，其特征在于，包括：排烟管道、除尘器和引风机；

所述排烟管道的接入端连接到氮化硅粉生产反应器上；

所述排烟管道的排出端依次与除尘器和引风机连接；

在所述排烟管道上设置有预设数量的小孔；

所述引风机用于将氮化硅粉生产反应器产生的氨气和氯化氢气体抽入到排烟管道中，并通过所述排烟管道的小孔将室温的空气充入到排烟管道中与氨气和氯化氢气体混合，以使混合气体降温；所述除尘器用于过滤并收集所述混合气体中的氨气和氯化氢反应生成的氯化铵晶体。

7.根据权利要求6所述的处理系统，其特征在于，所述排烟管道上设置的小孔孔径为1-10mm。

8.根据权利要求6所述的处理系统，其特征在于，所述排烟管道上设置的与除尘器最接近的小孔与除尘器之间的距离为1-2m。

9.根据权利要求6所述的处理系统，其特征在于，所述除尘器为布袋除尘器；

在所述布袋除尘器下方设置有集料斗，所述集料斗用于收集氯化铵晶体。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的处理系统，其特征在于，所述处理系统还包括淋洗塔、循环水池和循环泵；

所述淋洗塔的下部设有进气口，所述进气口与所述引风机的出风口连接；所述淋洗塔的上部还设有排气口；

所述循环水池设置在所述淋洗塔下端，内部容置有碱性溶液；

所述循环泵的两端分别和循环水池的下部和淋洗塔的上部连接；

所述引风机还用于将经过除尘器过滤处理后的所述混合气体抽入到淋洗塔中；所述循环泵用于将所述循环水池中的碱性溶液循环充入淋洗塔，以对由引风机抽入到淋洗塔中的所述混合气体进行洗涤。