[发明专利]一种微型超精密单点金刚石飞切机床

摘要

本发明公开了一种微型超精密单点金刚石飞切机床，包括机床隔振系统及设置在机床隔振系统上的床身、X轴进给系统、在位测量系统、主轴系统、工件、工件装夹系统和Z轴进给系统，X轴进给系统与Z轴进给系统安装于床身上，成T型布置，且X轴进给系统中线与Z轴进给系统中线相隔30mm，整机尺寸为500mm*620mm*500mm。主轴系统通过主轴定位块与主轴安装块调整位姿并安装于X轴进给系统的载物台上。主轴箱上安装有激光位移传感器，可以实现飞切机床的实时加工量的测量。本发明通过降低机床尺寸维度、创新机床设计方案有效的克服了传统飞切机床的不足，极大地避免了误差源的引入，提高了机床的加工精度，具有操作简单，智能化程度高的特点。

主权项

1.一种微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，包括隔振系统(1)、床身(2)、X轴进给系统(3)、在位测量系统(4)、主轴系统(5)、工件装夹系统(7)和Z轴进给系统(8)；/n所述床身(2)安装在隔振系统(1)上，所述X轴进给系统(3)和Z轴进给系统(8)安装在床身(2)上，所述X轴进给系统(3)和Z轴进给系统(8)分别用于实现X轴、Z轴方向的位移调节，所述X轴进给系统(3)和Z轴进给系统(8)均通过直线电机和光栅尺进行位移调节；/n所述主轴系统(5)包括主轴箱(5-3)，所述主轴箱(5-3)安装在X轴进给系统(3)的X轴载物台(3-3)上，所述主轴箱(5-3)上设置有气浮主轴(5-4)，所述气浮主轴(5-4)的一端设置有飞切刀盘(5-5)，所述飞切刀盘(5-5)用于固定单点金刚石飞切刀具(5-8)；/n所述在位测量系统(4)包括激光位移传感器(4-1)，所述激光位移传感器(4-1)安装于主轴箱(5-3)上；/n所述工件装夹系统(7)安装在Z轴进给系统(8)的Z轴载物台(8-3)上，所述工件装夹系统(7)用于安装工件(6)。/n