[发明专利]一种微型超精密单点金刚石飞切机床

权利要求书

1.一种微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，包括隔振系统(1)、床身(2)、X轴进给系统(3)、在位测量系统(4)、主轴系统(5)、工件装夹系统(7)和Z轴进给系统(8)；

所述床身(2)安装在隔振系统(1)上，所述X轴进给系统(3)和Z轴进给系统(8)安装在床身(2)上，所述X轴进给系统(3)和Z轴进给系统(8)分别用于实现X轴、Z轴方向的位移调节，所述X轴进给系统(3)和Z轴进给系统(8)均通过直线电机和光栅尺进行位移调节；

所述主轴系统(5)包括主轴箱(5-3)，所述主轴箱(5-3)安装在X轴进给系统(3)的X轴载物台(3-3)上，所述主轴箱(5-3)上设置有气浮主轴(5-4)，所述气浮主轴(5-4)的一端设置有飞切刀盘(5-5)，所述飞切刀盘(5-5)用于固定单点金刚石飞切刀具(5-8)；

所述在位测量系统(4)包括激光位移传感器(4-1)，所述激光位移传感器(4-1)安装于主轴箱(5-3)上；

所述工件装夹系统(7)安装在Z轴进给系统(8)的Z轴载物台(8-3)上，所述工件装夹系统(7)用于安装工件(6)。

2.根据权利要求1所述的一种微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述X轴进给系统(3)包括X轴直线电机、X轴光栅尺、X轴气浮导轨、X轴载物台(3-3)、X轴挡板(3-1)和X风琴罩(3-2)；

所述X轴直线电机安装在X轴气浮导轨上，所述X轴载物台(3-3)安装在X轴直线电机上，所述X轴光栅尺安装在X轴载物台(3-3)上，所述X轴气浮导轨上方设置有X风琴罩(3-2)，所述X风琴罩(3-2)的部配合设置有X轴挡板(3-1)。

3.据权利要求1所述的一种微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述Z轴进给系统(8)包括Z轴挡板(8-1)、Z风琴罩(8-2)、Z轴载物台(8-3)、Z轴光栅尺、Z轴直线电机、Z轴气浮导轨；

所述Z轴直线电机安装在Z轴气浮导轨上，所述Z轴载物台(8-3)安装在Z轴直线电机上，所述Z轴光栅尺安装在Z轴载物台(8-3)上，所述Z轴气浮导轨上方设置有Z风琴罩(8-2)，所述Z风琴罩(8-2)的端部配合设置有Z轴挡板(8-1)。

4.据权利要求1所述的一种微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述隔振系统(1)包括支撑钢架(1-1)、薄膜式气弹簧(1-2)、自动调平阀(1-3)、地脚(1-4)、移动轮(1-4)；

所述薄膜式气弹簧(1-2)和自动调平阀(1-3)均安装在支撑钢架(1-1)的顶部，用于支承床身(2)，所述地脚(1-4)和移动轮(1-4)安装在支撑钢架(1-1)的底部。

5.据权利要求1所述的一种微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述主轴系统(5)包括主轴箱(5-3)，所述主轴箱(5-3)通过主轴定位块主轴定位块(5-1)和主轴定位调整块(5-2)安装在X轴载物台(3-3)上。

6.据权利要求1所述的一种微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述飞切刀盘(5-5)的中心通过轴承安装在气浮主轴(5-4)上，所述飞切刀盘(5-5)的侧壁安装有刀具定位块(5-6)，所述刀具定位块(5-6)上安装刀具固定架(5-7)，所述刀具定位块(5-6)和刀具固定架(5-7)上分别设置粗调螺母(5-10)和精调螺母(5-9)。

7.据权利要求1所述的一种微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述工件装夹系统(7)包括工件架(7-2)和3R夹具(7-1)，所述工件架(7-2)安装在Z轴进给系统(8)的Z轴载物台(8-3)上，所述3R夹具(7-1)安装在工件架(7-2)上，所述3R夹具(7-1)用于安装工件(6)，所述3R夹具(7-1)与飞切刀盘(5-5)相对设置，且3R夹具(7-1)的中心轴线的与激光位移传感器(4-1)的位置高度在同一水平面内。