[发明专利]一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法有效
| 申请号： | 201911106048.X | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110814432B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 阳红;张敏;戴晓静;刘有海;宋珂炜;尹承真;孙守利;杨光伟 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | B23D79/00 | 分类号： | B23D79/00;B23Q5/36 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，利用单点金刚石飞切机床飞切加工被加工零件，在加工过程中通过调整主轴的转速实现连续微小尺度台阶加工。本发明在传统超精密单点金刚石飞切工艺的基础上，利用单点金刚石飞切机床在加工环境精确控制的条件下，以超精密数控机床作为加工平台，采用天然单晶金刚石刀具通过单点切削的方式直接加工出高精度平面，利用飞切刀盘在主轴不同转速下，由于离心力作用导致单点金刚石刀具切削点产生高度变化从而实现连续微小尺度台阶的确定量加工。利用该方法可以实现数微米、高陡度台阶的超精密飞切加工，为表面微小尺度台阶的超精密加工提供一种有效加工方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微米 尺度 台阶 精密 加工 方法 | ||
【主权项】：
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