[发明专利]一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法

权利要求书

1.一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，其特征在于，利用单点金刚石飞切机床飞切加工被加工零件（1），在加工过程中通过调整主轴（3）的转速实现连续微小尺度台阶加工；利用飞切刀盘（4）在主轴（3）不同转速下，由于离心力作用导致单点金刚石刀具（5）的切削点产生高度变化从而实现连续微小尺度台阶的确定量加工。

2.根据权利要求1所述的一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）、高精度平面单点金刚石飞切加工：设置主轴（3）的转速为n1，采用单点金刚石刀具（5）对被加工零件（1）表面进行飞切加工；

2）、连续微小尺度台阶超精密飞切加工：改变主轴（3）的转速为n2，其中，n2n1，采用单点金刚石刀具（5）对被加工零件（1）表面进行飞切加工，同时，直线运动机构（2）在加工长度方向做直线进给运动。

3.根据权利要求2所述的一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，其特征在于，步骤1）的切削深度为1μm-5μm。

4.根据权利要求2所述的一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，其特征在于，所述直线运动机构（2）的进给速度为2mm/min-5mm/min。

5.根据权利要求1或2所述的一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，其特征在于，所述主轴（3）的转速为100rpm/min -600rpm/min。

6.根据权利要求2所述的一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，其特征在于，所述单点金刚石刀具（5）安装在机床的飞切刀盘（4）上，且与直线运动机构（2）形成联动系统。

7.根据权利要求1或2所述的一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，其特征在于，所述被加工零件（1）为金属或非金属材料。