[发明专利]高精度陀螺仪有效
| 申请号： | 201911101972.9 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN110887467B | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 孟珍奎;刘雨微;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5642 | 分类号： | G01C19/5642 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 陈巍巍 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高精度陀螺仪，包括呈矩形结构的基座、设置于基座顶面的传感单元，以及位于与传感单元相同层面的多个锚块，多个锚块环绕传感单元间隔设置，所述锚块通过绝缘层将传感单元固定于基座上；传感单元包括：质量块、分别环设于所述质量块的四周侧的移动质量块、将所述质量块和所述移动质量块形成弹性连接的第一弹簧梁、环设于质量块且位于移动质量块远离质量块一侧的移动质量块框架、与移动质量块框架的连接的梳齿和移动梳齿形成电容的固定梳齿，以及连接移动质量块和所述移动质量块框架的第二弹簧梁，且所述第二弹簧梁延伸至与所述锚块形成固定。与相关技术相比，本发明的高精度陀螺仪频率带宽大、品质因素Q值高且精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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