[发明专利]高精度陀螺仪

权利要求书

1.一种高精度陀螺仪，包括呈矩形结构的基座、设置于所述基座顶面的传感单元，以及位于与所述传感单元相同层面的多个锚块，多个所述锚块环绕所述传感单元间隔设置，所述锚块通过绝缘层将所述传感单元固定于所述基座上，其特征在于，所述传感单元包括：

质量块，所述质量块呈矩形结构，包括沿第一方向相对且间隔设置的两个第一侧壁和沿第二方向相对且间隔设置的两个第二侧壁，所述质量块叠设支撑于所述基座；所述第一方向与所述第二方向相互垂直且围成的平面与所述基座平行；

移动质量块，所述移动质量块包括四个并分别环设于所述质量块的四周侧，四个所述移动质量块分别平行于两个第一侧壁及两个第二侧壁并与所述质量块间隔设置；

第一弹簧梁，所述第一弹簧梁将所述质量块和所述移动质量块形成弹性连接；

移动质量块框架，所述移动质量块框架包括沿所述第一方向相对且间隔设置的两个第一移动质量块框架和沿所述第二方向相对且间隔设置的两个第二移动质量块框架；两个所述第一移动质量块框架和两个第二移动质量块框架环设于所述质量块的四周侧，且均位于所述移动质量块的远离所述质量块的一侧；所述第一移动质量块框架包括第一框架本体和具有多个第一移动梳齿的第一移动梳齿部，多个所述第一移动梳齿由所述第一框架本体相对设置的两长轴边分别沿第二方向向其内部延伸；所述第二移动质量块框架包括第二框架本体和具有多个第二移动梳齿的第二移动梳齿部，多个所述第二移动梳齿由所述第二框架本体相对设置的两长轴边分别沿第一方向向其内部延伸；

固定梳齿，所述固定梳齿包括分别固定于所述基座的两个第一固定梳齿部和两个第二固定梳齿部，两个所述第一固定梳齿部分别与两个所述第一移动梳齿部匹配，两个第二固定梳齿部分别与两个所述第二移动梳齿部匹配；所述第一固定梳齿部具有多个第一固定梳齿，且分别和与其匹配的所述第一移动梳齿部的多个第一移动梳齿相互交错插设并相互间隔，形成第一电容；所述第二固定梳齿部具有多个第二固定梳齿，且分别和与其匹配的所述第二移动梳齿部的多个第二移动梳齿相互交错插设并相互间隔，形成第二电容；以及

第二弹簧梁，所述第二弹簧梁包括多个且分别位于相对设置的所述移动质量块和所述移动质量块框架之间，并将二者形成弹性连接，且所述第二弹簧梁延伸至与所述锚块形成固定，所述第二弹簧梁沿平行于与其对应的所述移动质量块的方向延伸。

2.根据权利要求1所述的高精度陀螺仪，其特征在于，所述传感单元还包括位于相对设置的所述移动质量块和所述移动质量块框架之间的连接部，所述连接部将二者形成刚性连接。

3.根据权利要求2所述的高精度陀螺仪，其特征在于，位于相对设置的所述移动质量块与所述第一移动质量块框架之间，或位于相对设置的所述移动质量块与所述第二移动质量块框架之间的所述第二弹簧梁均包括两个，两个第二弹簧梁间隔相对设置，且沿平行于与其对应的所述移动质量块的方向延伸，对应设置的所述连接部位于两个所述第二弹簧梁之间且相互间隔；每一所述传感单元配置四个所述锚块，且四个所述锚块分别位于所述质量块的四个角的位置。

4.根据权利要求2所述的高精度陀螺仪，其特征在于，所述连接部呈矩形结构或栅栏状。

5.根据权利要求1所述的高精度陀螺仪，其特征在于，所述质量块还包括由所述第一侧壁沿所述第二方向向其内部凹陷的第一让位槽，以及由所述第二侧壁沿所述第一方向向其内部凹陷的第二让位槽；多个所述第一弹簧梁分别延伸至与其对应的所述第一让位槽内或所述第二让位槽内。

6.根据权利要求5所述的高精度陀螺仪，其特征在于，每一所述第一侧壁设有两个相互间隔的所述第一让位槽，每一所述第二侧壁设有两个相互间隔的所述第二让位槽；每一所述移动质量块与所述质量块之间设有两个所述第一弹簧梁。

7.根据权利要求1～6任意一项所述的高精度陀螺仪，其特征在于，所述传感单元包括至少四个且呈矩阵排列；所述高精度陀螺仪还包括第三弹簧梁，所述第三弹簧梁包括多个且分别位于相邻两个所述传感单元之间，并将相邻的两个所述传感单元的两个所述移动质量块框架形成弹性连接。