[发明专利]新型盐化合物、化学增幅抗蚀剂组合物、及图案形成方法有效
| 申请号： | 201911101447.7 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN111187235B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 小野绘实子;提箸正义;福岛将大;计良祐纪 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C07D307/00 | 分类号： | C07D307/00;C07C309/12;C07C381/12;C07D333/76;C07D333/08;C07D327/06;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及新型盐化合物、化学增幅抗蚀剂组合物、及图案形成方法。本发明的课题是提供一种化学增幅抗蚀剂组合物，其在以KrF准分子激光、ArF准分子激光、电子束、极紫外线等高能量射线作为光源的光刻中，缺陷少，感度、LWR、MEF、CDU等优异；并提供使用该化学增幅抗蚀剂组合物的图案形成方法。一种盐化合物，其由下式(A)表示。 |
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| 搜索关键词： | 新型 盐化 化学 增幅 抗蚀剂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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