[发明专利]一种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201911098509.3 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN110794649B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 周文文;王惟圣;丁桂甫;高峰;王广元;蔡涵 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构及其制作方法。该结构包括：玻璃纤维；以及光刻胶，所述光刻胶包覆所述玻璃纤维。基于本发明的该种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构与现有技术相比具有如下优点：1)提高了光刻胶的拉伸模量与断裂强度，从而扩大光刻胶作为结构材料在MEMS技术中的应用；2)保证了光刻胶对光能量具有较高的利用率，复合结构对光刻胶的光敏特性不造成影响；3)不改变光刻胶的曝光以及显影方式，不影响其光刻成型；4)裸露出来的玻璃纤维可通过氢氟酸湿法去除；5)工艺简单、成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 玻璃纤维 增强 光刻 胶结 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构，包括：/n玻璃纤维；以及/n光刻胶，所述光刻胶包覆所述玻璃纤维。/n
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