[发明专利]一种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构及其制作方法

权利要求书

1.一种制作基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构的方法，包括：

进行基片与玻璃纤维的预处理；

在基片表面进行玻璃纤维与光刻胶的复合，所述光刻胶为SU-8光刻胶；

进行烘胶及光刻工艺；以及

去除显影后窗口裸露出的玻璃纤维，

其中所述进行基片与玻璃纤维的预处理包括：

对基片进行等离子清洗，使用丙酮对编织玻璃纤维进行清洗，烘干后将编织纤维剪成基片形状，或者

对基片进行等离子清洗，将玻璃纤维用丙酮清洗后，放入偶联剂与乙醇的混合液中浸泡一定时间后取出烘干；烘干后取一定量的玻璃纤维加入到一定量的光刻胶中，在设定温度的热水浴下，通过机械搅拌和或超声波搅拌充分混匀。

2.如权利要求1所述的制作基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构的方法，其特征在于，所述去除显影后窗口裸露出的玻璃纤维是通过稀释的氢氟酸溶液中进行裸露的玻璃纤维刻蚀。

3.如权利要求1所述的制作基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构的方法，其特征在于，所述增强型光刻胶的曝光显影进而图形化的光刻成型特性得以保持。

4.一种通过权利要求1至3中任一项所述的方法制作的基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构，包括：

玻璃纤维；

光刻胶，所述光刻胶包覆所述玻璃纤维，所述光刻胶为SU-8光刻胶；以及

图形化窗口，所述图形化窗口形成在基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构中，所述图形化窗口所在的区域既没有光刻胶也没有玻璃纤维。

5.如权利要求4所述的基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构，其特征在于，所述玻璃纤维为编织玻璃纤维布或短切玻璃纤维。

6.如权利要求5所述的基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构，其特征在于，所述编织玻璃纤维布为双轴向编织或三轴向编织，编织角为±30°或±45°或±60°，纤维缠绕方式为1/1或2/2或3/3编织结构。

7.如权利要求5所述的基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构，其特征在于，所述短切玻璃纤维为E型玻璃纤维、A型玻璃纤维、C型玻璃纤维、S型玻璃纤维的一种或组合。

8.如权利要求5所述的基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构，其特征在于，所述编织玻璃纤维布的层数为N，其中N≥1。