[发明专利]分配器附件及其用于由激光光刻写入3D结构的装置的用途有效
| 申请号： | 201911098492.1 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN111175955B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 于尔克·霍夫曼;索特·托马斯;林登·克里斯托夫;沙赫·克里斯蒂安 | 申请（专利权）人： | 纳糯三维科技控股有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/02 | 分类号： | G02B21/02;G02B21/33;G02B27/00;B29C64/135 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 张莉;葛强 |
| 地址： | 德国埃根*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及分配器附件(38)，特别是用于显微镜物镜的分配器附件(38)，在用于借助激光光刻在光刻流体(22)中写入三维结构的装置(10)中的用途，光刻流体(22)可通过激光照射而固化。本发明还涉及一种适于放置到物镜(18)上的分配器附件(38)。 | ||
| 搜索关键词： | 分配器 附件 及其 用于 激光 光刻 写入 结构 装置 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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