[发明专利]分配器附件及其用于由激光光刻写入3D结构的装置的用途

权利要求书

1.一种在用于借助于激光光刻而在光刻流体（22）中写入三维结构的装置（10）中使用分配器附件（38）借助于激光光刻而生成三维结构的方法，所述分配器附件（38）是用于显微镜物镜的分配器附件（38），所述光刻流体（22）能够通过激光照射而固化，

所述装置（10）包括：

- 用于发射写入光束（14）的激光光束源（12）；

- 用于接收光刻流体（22）的基板（24）；

- 物镜（18），所述物镜（18）用于在所述光刻流体（22）中形成所述写入光束（14）的聚焦区域（20），所述物镜（18）包括物镜外壳（30）和出射透镜（ 36）;

所述分配器附件（38）包括：

- 分配器外壳（40），所述分配器外壳（40）被设计成放置在所述物镜（18）上，以使得：在所述物镜外壳（30）和所述分配器外壳（40）之间形成流体空间（42），并且在所述分配器外壳（40）和所述出射透镜（36）之间形成输出间隙（44）；和

- 通入所述流体空间（42）的流体通道（50）；

所述方法包括以下步骤：

- 提供与所述激光光束源（12）配合的光刻流体（22），以使得固化仅在所述聚焦区域（20）中发生并且通过利用多光子过程而发生；

- 通过所述流体通道（50）将所述光刻流体（22）供应到所述流体空间（42）中；

- 通过所述输出间隙（44）施加一定体积的光刻流体（22）；

- 通过所述物镜（18）将所述写入光束（14）引入到所述一定体积的光刻流体（22）中，并借助于多光子过程使所述光刻流体（22）在所述聚焦区域（20）中局部固化以写入所述三维结构；

- 远离所述基板（24）的表面移动所述物镜（18）； 和

- 通过所述输出间隙（44）连续地补充光刻流体。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，施加步骤被执行为使得：所述光刻流体（22）保持与所述出射透镜（36）接触，并且在所述光刻流体（22）与所述出射透镜（36）接触的同时，所述写入光束（14）被引入到所述光刻流体（22）中。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，施加步骤被执行为使得所述光刻流体（22）保持与所述基板（24）以及与所述出射透镜（36）接触。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中，提供第一光刻流体（22），通过所述流体通道（50）将所述第一光刻流体（22）供应到所述流体空间（42）中，并且通过所述输出间隙（44）施加第一体积的所述第一光刻流体（22），

并且其中，在此之后，提供第二光刻流体（22），通过所述流体通道（50）将所述第二光刻流体（22）供应到所述流体空间（42）中，并且，通过所述输出间隙（44）施加第二体积的所述第二光刻流体（22）。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述第一光刻流体（22）和所述第二光刻流体（22）是具有不同材料特性的不同材料。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，在施加所述第一光刻流体（22）之后并且在施加所述第二光刻流体（22）之前，执行如下至少一个步骤：将所述写入光束（14）引入到所述一定体积的第一光刻流体（22）中，和局部固化所述第一光刻流体（22）。

7.根据权利要求4所述的方法，其中，首先施加所述第一光刻流体（22），并且然后施加所述第二光刻流体（22），并且然后将所述第一光刻流体和所述第二光刻流体混合。

8.根据权利要求1或2所述的方法，其中，在引入所述写入光束（14）和局部固化所述光刻流体（22）的步骤之后，执行以下步骤：

- 提供显影剂流体，所述显影剂流体用于曝光和/或固化写入的所述三维结构；

- 通过所述流体通道（50）将所述显影剂流体供应到所述流体空间（42）中；

- 通过所述输出间隙施加一定体积的显影剂流体。