[发明专利]一种高熵合金靶材制备装置有效
| 申请号： | 201911096498.5 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN110965034B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 黄志宏 | 申请（专利权）人： | 温州职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 浙江纳祺律师事务所 33257 | 代理人： | 应毓婷 |
| 地址： | 325036 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高熵合金靶材制备装置，包括壳体以及位于壳体一侧的驱动电机，驱动电机的输出轴穿入壳体内设置有转动盘，转动盘的一侧转动连接有大齿轮，大齿轮的外周等间距啮合有六个小齿轮，每个小齿轮的轴心处均与转动盘转动连接，六个小齿轮所远离大齿轮的一侧均啮合有同一个齿圈；每个小齿轮的一侧均设置有靶筒，每个小齿轮的一侧均穿设有固定杆，每个固定杆的一端与转动盘固定连接，每个固定杆的另一端固定连接有磁棒管件，磁棒管件位于靶筒内，大齿轮的一侧设置有待镀膜工件，待镀膜工件与大齿轮为同轴心设置。本发明具有以下有益效果：这种装置可实现高均匀性、大面积薄膜沉积，且可同时提高多个靶材的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 装置 | ||
【主权项】：
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