[发明专利]探针卡及晶圆测试装置和晶圆测试方法有效
| 申请号： | 201911070503.5 | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN110907799B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 朱本强 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073;G01R1/067;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种探针卡及晶圆测试装置和晶圆测试方法，探针卡包括：电路板；多个第一焊盘，位于所述电路板上，多个所述第一焊盘之间形成有多条导线；驱动电路，与所述第一焊盘连接，并引出多个探针；第二焊盘，位于所述电路板上以及多个所述第一焊盘的外围；以及水平仪，焊接在所述第二焊盘上，所述水平仪上标记有用于表征所述探针卡相对于所述晶圆的最大允许偏移量的容错圈。该探针卡上设置有用于焊接水平仪的焊盘，测试时通过判断水平仪上的气泡是否位于标记的容错圈中，来判断探针卡与晶圆是否对准，从而对探针卡进行精确地位置调节，使得测试结果更加精准，减少了探针卡的更换频率，降低了测试成本，而且提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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