[发明专利]一种便于固定的化学机械抛光设备有效
| 申请号： | 201911045109.6 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110802505B | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 汪娟 | 申请（专利权）人： | 汪娟 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/27;B24B57/02;B24B37/34;B24B55/00 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 李金标 |
| 地址： | 231261 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种便于固定的化学机械抛光设备，一种便于固定的化学机械抛光设备，包括设备主体、第一转轴、第一齿轮、螺纹套筒、电动伸缩板、第二转轴、第三齿轮、螺旋连杆、清洗喷头、抛光台、待抛光半导体、调节阀和出液管，所述设备主体的侧端设置有驱动电机。该便于固定的化学机械抛光设备中设置有限位孔和电动伸缩板，根据不同的待抛光半导体形状，选取与半导体形状相同的限位孔，将待抛光半导体防置在限位孔内，能够对待抛光半导体起到水平方向的固定作用，电动伸缩板能够完成竖直方向上的伸缩移动，能够对待抛光半导体施加向下的挤压力，使待抛光半导体贴合在抛光台上，进行抛光，能够对待抛光半导体起到竖直方向的固定作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 固定 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
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