[发明专利]水循环装置及水循环系统有效
| 申请号: | 201911025742.9 | 申请日: | 2019-10-25 |
| 公开(公告)号: | CN110713278B | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
| 发明(设计)人: | 陈伟;朱亮;柳小敏 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号: | C02F9/02 | 分类号: | C02F9/02 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 曹廷廷 |
| 地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明提供了一种水循环装置及水循环系统,所述水循环装置包括依次相连通的进水管道、水箱、出水管道和过滤单元。当所述含气液体通过所述进水管道流入所述水箱,经所述水箱容置一段时间,所述含气液体即能够实现气液分离以得到去气液体,所述出水管道将所述去气液体输送给所述过滤单元,经过滤后得到洁净水从而接入冷却机中实现排水的循环利用。由此实现了稳定的水循环,减少了排水的浪费,避免了人工补液,从而节约时间成本,降低经济成本,提高作业效率。 | ||
| 搜索关键词: | 水循环 装置 系统 | ||
【主权项】:
1.一种水循环装置,其特征在于,所述水循环装置包括水箱、过滤单元、进水管道及出水管道;其中,/n所述进水管道、所述水箱、所述出水管道和所述过滤单元依次相连通;/n所述进水管道用于将含气液体输送给所述水箱;/n所述水箱用于容置所述进水管道输送的含气液体,并使得所述含气液体中的气体自所述含气液体中分离以得到去气液体,并将所述去气液体输送给所述出水管道;/n所述出水管道将所述去气液体输送给所述过滤单元;/n所述过滤单元用于过滤所述出水管道输送的去气液体。/n
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