[发明专利]水循环装置及水循环系统

说明书

本发明提供了一种水循环装置及水循环系统，所述水循环装置包括依次相连通的进水管道、水箱、出水管道和过滤单元。当所述含气液体通过所述进水管道流入所述水箱，经所述水箱容置一段时间，所述含气液体即能够实现气液分离以得到去气液体，所述出水管道将所述去气液体输送给所述过滤单元，经过滤后得到洁净水从而接入冷却机中实现排水的循环利用。由此实现了稳定的水循环，减少了排水的浪费，避免了人工补液，从而节约时间成本，降低经济成本，提高作业效率。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造设备技术领域，特别涉及一种水循环装置及水循环系统。

背景技术

目前物理气相淀积靶材使用的排水方式为气体压出的方式将水排出。因而，在正常排水的过程中势必会有大量的气体夹杂着冷却水一起流进排水管道。如果将排水管道的水直接接入到冷却机进水口进行循环利用，由于大量气体和杂质的存在，会导致冷却机内水大量溢出，同时也会使得出水管道内流量不稳定，大大降低冷却效率。对此，不得不将设备排出的水作为废水排到厂务废水管中，并且人工添加去离子水，耗费大量的时间、人力和物力，严重影响作业效率。

因此，如何实现物理气相淀积设备的排水可以循环进入冷却机成了本领域技术人员需要解决的一个问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种水循环装置及水循环系统，以解决物理气相淀积设备的排水无法接入冷却机进行循环利用的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种水循环装置，所述水循环装置包括水箱、过滤单元、进水管道及出水管道；其中，

所述进水管道、所述水箱、所述出水管道和所述过滤单元依次相连通；

所述进水管道用于将含气液体输送给所述水箱；

所述水箱用于容置所述进水管道输送的含气液体，并使得所述含气液体中的气体自所述含气液体中分离以得到去气液体，并将所述去气液体输送给所述出水管道；

所述出水管道将所述去气液体输送给所述过滤单元；

所述过滤单元用于过滤所述出水管道输送的去气液体。

可选的，在所述水循环装置中，所述水箱包括箱体和滤网，所述箱体的顶端具有一开口，所述滤网铺设覆盖于所述开口上。

可选的，在所述水循环装置中，所述过滤单元包括物理过滤部件、电化学过滤部件、离子传感器、出水阀门以及回流阀门；

所述物理过滤部件、所述电化学过滤部件和所述离子传感器依次相连接；

所述物理过滤部件用于过滤所述去气液体中的固体杂质；

所述电化学过滤部件用于对自所述物理过滤部件流入的液体进行去离子处理；

所述离子传感器用于检测自所述电化学过滤部件流出的液体的离子数量；

当所述离子传感器检测到的所述液体的离子数量大于一设定值时，所述离子传感器传输第一信号至所述回流阀门，所述回流阀门打开，所述液体流入所述电化学过滤部件；

当所述离子传感器检测到的所述液体的离子数量小于或等于所述设定值时，所述离子传感器传输第二信号至所述出水阀门，所述液体流出所述过滤单元。

可选的，在所述水循环装置中，所述物理过滤部件为过滤网。

可选的，在所述水循环装置中，所述离子传感器具有第一端口、第二端口和第三端口；

所述电化学过滤部件与所述离子传感器的第一端口连接；

所述出水阀门与所述离子传感器的第二端口连接；

所述回流阀门与所述离子传感器的第三端口及所述电化学过滤部件连接。