[发明专利]一种真空机械扫描装置有效
| 申请号： | 201911022785.1 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN112713070B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 彭立波;胡振东;许波涛;罗南安 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/26 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空机械扫描装置，包括真空扫描轴、安装法兰、密封套、扫描轴升降驱动机构以及扫描轴旋转驱动机构，所述密封套与真空扫描轴之间设有密封组件，真空机械扫描装置还包括两组用于使密封套可随真空扫描轴的位置浮动并保持密封套与安装法兰轴向间距不变的导向副，两组所述导向副对称布置于所述密封套的两侧，所述安装法兰与所述密封套之间连接有柔性密封套管。本发明具有结构简单、成本低、有利于提高可靠性和使用寿命等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 机械扫描 装置 | ||
【主权项】：
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