[发明专利]一种真空机械扫描装置

权利要求书

1.一种真空机械扫描装置，包括真空扫描轴(1)、安装法兰(2)、密封套(3)、扫描轴升降驱动机构(7)、以及扫描轴旋转驱动机构(8)，所述密封套(3)与真空扫描轴(1)之间设有密封组件(4)，其特征在于：真空机械扫描装置还包括两组用于使密封套(3)可随真空扫描轴(1)的位置浮动并保持密封套(3)与安装法兰(2)轴向间距不变的导向副(5)，两组所述导向副(5)对称布置于所述密封套(3)的两侧，所述安装法兰(2)与所述密封套(3)之间连接有柔性密封套管(6)，所述导向副(5)包括第一滑块(51)、与第一滑块(51)配合的第一导轨(52)、第二滑块(53)以及与第二滑块(53)配合的第二导轨(54)，所述第一滑块(51)设于密封套(3)上，第一导轨(52)设于第二滑块(53)上，所述第二导轨(54)设于安装法兰(2)上，且第二导轨(54)、第一导轨(52)及真空扫描轴(1)相互垂直；或，所述导向副(5)包括第一导向轴、与第一导向轴配合的第一直线轴承、第二导向轴以及与第二导向轴配合的第二直线轴承，所述导向轴设于密封套(3)上，第一直线轴承设于第二导向轴上，所述第二直线轴承设于安装法兰(2)上，且第一导向轴、第二导向轴及真空扫描轴(1)相互垂直。

2.根据权利要求1所述的真空机械扫描装置，其特征在于：所述密封组件(4)包括至少两个密封圈(41)，相邻两个所述密封圈(41)之间设有抽气隔环(42)，所述抽气隔环(42)配设有真空抽气接口(43)。

3.根据权利要求2所述的真空机械扫描装置，其特征在于：所述密封圈(41)为聚四氟乙烯密封圈。

4.根据权利要求1所述的真空机械扫描装置，其特征在于：所述柔性密封套管(6)为波纹管，所述波纹管两端分别与所述安装法兰(2)和所述密封套(3)焊接连接。

5.根据权利要求1所述的真空机械扫描装置，其特征在于：所述扫描轴升降驱动机构(7)包括第一旋转驱动件(71)、第一传动组件(72)、丝杆(73)、以及与丝杆(73)配合的螺母座(74)，所述真空扫描轴(1)通过一旋转轴承(75)设于所述螺母座(74)上，所述第一旋转驱动件(71)通过第一传动组件(72)与丝杆(73)相连。

6.根据权利要求5所述的真空机械扫描装置，其特征在于：所述扫描轴旋转驱动机构(8)包括第二旋转驱动件(81)及第二传动组件(82)，所述第二旋转驱动件(81)设于所述螺母座(74)上并通过第二传动组件(82)与真空扫描轴(1)相连。

7.根据权利要求5所述的真空机械扫描装置，其特征在于：所述螺母座(74)还配设有升降导向组件(76)，所述丝杆(73)与所述升降导向组件(76)相对布置于所述真空扫描轴(1)的两侧。